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广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区，专注于腐蚀面板加工，腐蚀面板定制，机械控制面板定做，不锈钢蚀刻面板加工，机械面板腐蚀定制，设备蚀刻面板加工，腐蚀机械面板定制，机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等，接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地，均可加工定制生产。产品还有腐蚀标牌，不锈钢直尺加工、铝铭牌制作、不锈钢铭牌制作、机械设备控制面板、亚克力标牌等。清洗和蚀刻单元区域，通过自动化的电气控制使蚀刻产品在清洗区和蚀刻区自动传输和切换操作。制作工艺：UV印刷、喷漆、丝印、热转印、凹凸，冲压、磨光、拉丝、电镀、氧化、喷砂、激光、注塑、磨光、电铸、腐蚀等一体化的大型***标牌加工制作厂。

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腐蚀是一种很普遍的现象,它是由于物体与化学物质接触,而发生某种化学反应,从而导致该物体被损的情况。机械化工设备是一种较易被腐蚀的物体,发生腐蚀现象后,设备的外表和性能都有可能遭到***,从而使企业蒙受损失。因此,很有必要对机械设备的腐蚀原理进行研究,并采取相应的措施降低设备被腐蚀的程度,促进化工企业的发展。09MPa以上，用真空把零件微孔或裂纹内的空气（或水、油等）抽出，抽真空时间为15分钟。1设备腐蚀原因及分类①设备腐蚀原因。由于机械设备是由金属制成的,金属的结构使其在外界温度和湿度等条件下容易发生锈蚀,这是机械设备发生腐蚀的根本原因

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单面无压痕焊接要求在被焊板的一面(通常为“正面”)没有明显的焊后“痕迹”。这种焊接在电梯、汽车、家电等行业中都有大量应用前景,但是国内外一直未获得满意解决,其中尤以电梯行业面临的问题为迫切。对此,我们焊接研究所专门成立了课题组。 根据项目要求,我们制订了单面无压痕焊接的试验方案,并在此基础上设计了多种试验;同时我们还改造及自制部分必要的焊机和夹具、模具,以提供足够的功能以满足各类试验中调节各项工艺参数的需要。不锈钢材质为:304、304L、321316、316L、316TiTP3162205309S、310S、430等。经多次试验后证明,单面无压痕焊接工艺是可以实现的。 1.试验设备 为完成方案中设计的多种试验,我们课题组先后改造或自制了下列试验设备及装置、模具。 (1) 200kVA交流凸焊机,用于双面单点的点、凸焊。

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顶喷式减薄工艺原理和流程工艺原理

设备采用顶部喷洒方式进行蚀刻减薄LCD面板/玻璃基板。通过专用喷头等喷淋装置，以近似于雾状的喷淋方式，将蚀刻药液均匀的喷洒在蚀刻产品表面。工作过程中被蚀刻的玻璃基板等产品通过特定的匣具（Cassette）垂直固定，通过喷淋装置从顶部喷洒，并且在蚀刻产品的表面形成瀑布状蚀刻流，通过智能自动化PLC电气控制系统，以及在线监控和过滤等辅助系统装置，实现类同于双面瀑布流蚀刻的自动化减薄。对有散热需求而开散热孔产品宜采用湿度控制器 加热器进行除湿，防止凝露产生。同时通过形成的瀑布蚀刻流冲刷带走蚀刻后的反应物，避免反应物在蚀刻产品表面的沉积和粘附，有效提高蚀刻减薄效率和减薄产品的良率。

Pla***a在干蚀刻中的应用在高周波电场中电子被来回加速，加速后的电子轰击气体分子或原子，使分子或粒子解离出新的电子(α作用) 而产生Ion，或者使分子解离为高活性的自由基。高活性的自由基会和玻璃基板表面所镀的薄膜物质进行反应。

因此Pla***a被用在半导体，LCD行业中Etching的工艺中，多用在硅和硅的化合物（SiNx、SiOx 等）的蚀刻工艺，随着设备的改进，也可用于金属铝的蚀刻。

Pla***a蚀刻设备昂贵，但生产过程中耗费的Material非常少， Pla***a蚀刻的优点在于：蚀刻的精ds确度很好,速度快，蚀刻均一性好，***消耗低（较酸液蚀刻）。

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生产加工流程

首先将LCD面板/玻璃基板垂直放置于特定的匣具（Cassette）中，通过转载小车送入顶喷设备的清洗区，清洗去除蚀刻产品表面的异常杂质。完成清洗后，再通过设备中自动化的移动装置Moving Stage将转载蚀刻产品的卡匣输送至蚀刻区进行蚀刻。基于以上考虑,本文选取使用效果较好的环氧富锌漆、环氧清水漆及环氧沥青粘结材料,分别进行了粗糙度-粘结力试验和漆膜耐锈蚀试验。根据蚀刻工艺要求，待到规定时间后，转载产品的卡匣自动回到清洗区，清除蚀刻产品表面残留蚀刻药液，完成产品的蚀刻减薄。

湿蚀刻是借适当的腐蚀性溶液对所欲去除的膜层利用化学反应来去除的制程。

优点：设备费用低廉，制程单纯且量产速度快等。

缺点：CD loss较大，不易将线宽控制得极为精准等。易有under cut现象。

相比之下，干蚀刻异向性强，线宽稳定性易于控制，缺点为机台设备及维护费用高，量产速度慢。Procedure in wet etching湿蚀刻反应过程大概可以分为三个阶段：

（1）反应物质扩散到欲被蚀刻材质的表面

（2）反应物与被蚀刻薄膜反应

（3）反应物的产物从蚀刻表面扩散到溶液中，并随溶液排出。

在此三个阶段中，反应慢者就是蚀刻速率的控制关键，就是说，该阶段的进行速率即是反应速率。

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清洗区和蚀刻区均采用顶部喷洒方式。蚀刻液或纯水通过喷淋装置均匀喷洒在蚀刻产品表面上，并形成密集的瀑布蚀刻流，对蚀刻产品进行清洗和双面瀑布流式蚀刻作业。喷淋装置采用特定、***喷头设计，容易***更换和维护。

清洗和蚀刻单元区域，通过自动化的电气控制使蚀刻产品在清洗区和蚀刻区自动传输和切换操作。传输装置采用水封闭的模式，避免设备液体渗漏，对传输和承载装置等起到有效防护作用，提高操作的安全性。

（蚀刻单元密封门）

减薄过程中，蚀刻单元通过添加智能模块设备，可实现在线浓度和厚度的监控，对蚀刻液进行自动补液，调整即时生产参数，优化生产作业需求。

实用新型内容本实用新型在于提供一种干法刻蚀设备，能及时检测到干法刻蚀设备中的Chamber的真空***而保证产品良率。为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的一种干法刻蚀设备，包括反应腔，所述反应腔中设置有颜色传感器，所述颜色传感器位于能与所述反应腔隔绝的空间中，所述空间通过活动挡板与所述反应腔封闭或连通；所述活动挡板连接于外部控制部件，所述控制部件控制所述活动挡板移动，使所述空间与所述反应腔保持封闭或连通。优选地，所述反应腔中还设置有挡光板；所述挡光板上设置有槽，所述活动挡板封闭所述槽的槽口 ；所述颜色传感器位于所述槽与所述活动挡板封闭的空间内。优选地，所述颜色传感器为能检测出所述反应腔中气体变为红色或***的传感器。优选地，所述颜色传感器为对红色或***气体敏感的传感器。优选地，所述干法刻蚀设备还包括下部电极，所述下部电极的表面分布有表面浮点；所述表面浮点设置在玻璃基板上的面板与面板之间的区域。优选地，所述干法刻蚀设备还包括静电吸盘，由所述静电吸盘支撑吸附玻璃基板。对于LCD面板/玻璃基板的不同减薄工艺的优劣，在薄化行业实际生产运用时，一直都很多不同声音和争议。优选地，所述干法刻蚀设备还包括背冷却装置，所述背冷却装置位于所述下部电极下方。